电感耦合等离子体是通过高频率的感应电流产生作用，会产生类似于火焰一样的激发光源，可以做多种检测工作。在工作的过程当中需要应用感应的线圈，还需要应用高频率发生器还需要应用工作气体，这几个部分是工作过程当中的重点，当电离的度大于0.1%的时候，这些气体都会被称之为等离子体，其实也叫做电子合理的浓度。当这个浓度处于平衡状态的时候，就会产生这些离子体，在检测工作当中，这是非常重要的一部分内容。 

需要检测的物体，可以进行溶液稀释，变成溶液之后就会喷成喷雾状，随着工作气体进入到仪器设备的内管当中，然后会超过等离子的核心区域，之后就会发出具有特征的谱线。各种的元素都有自己特定的光谱，可以用来进行多种物质的分析，比如说能够进行多种元素的同时分析工作，比如说对于一些金属的元素进行分析，对于药物元素进行分析。ICP-OES在工作过程当中表现非常不错，检测效果很好。